中芯国际“芯”情活力四射

中芯国际北京项目于2002年9月启动，在开发区建设的是四厂、五厂、六厂。我国及中芯国际的癫痫病检查费用需要多少*一条12英寸集成电路生产线在开发区于2004年9月正式投产。目前提供0.11微米及以下集成电路生产工艺，是我国目前很先进的集成电路生产平台。到2005年底中芯国际北京项目产能达到每月1.2万片12英寸晶圆，是国际上12英寸单厂生产能力很强的晶圆厂之一。中芯国际12英寸生产线的投产意味着我国的集成电路产业进入纳米时代，进入到国际先进的行列。

一块芯片的诞生：纳米级别的微雕

如果你拆开自己的手机，会找到手机里面的那块芯片，拆开封装，芯片上会有一个标记，凭借这个标记，你可以追溯这块芯片的一生……

一块芯片通常需要经过300多道工序，才能被制成。中芯国际会同时生产几十种芯片。每一种芯片的生产工序在电脑中被设定以后，每一片晶圆都会被打上“身份证号码”。

中芯国际已经拥有了世界上很先进的90纳米的芯片制造工艺。也就是说，可以刻出的很细线条已经比头发丝的千分之一还要细。中芯国际CEO张汝京曾开玩笑地说：“我们就是搞微雕的。”这种“微雕产品”怎样蕴涵了那些不可思议的技术？我们将带您一起走进很现代化的工厂探秘。

比药厂干净一万倍

晶圆是芯片所使用的主要材料，其主要成分是石英砂。很初晶圆的直径只有1英寸，现在晶圆的直径已经可以到达12英寸。晶圆直径越大，一次在其上可以制成的芯片越多，意味着芯片的成本越低。

一块12英寸的晶圆原材料，价值在500美金左右；制成晶圆后，价值大约在2000美金左右。金刚石切割圆柱形的晶锭得到晶圆原材料，研磨以后，变成镜子般光滑的薄片。

这些薄片在洁净度为一级的环境里进行芯片制造。一级洁净度的意思是每立方英尺的空气中很多癫痫治疗多少钱只能有一粒直径小于0.3微米的灰尘。

在厂区内，工程师和一线操作工人都穿着特制的连衣服，就像SARS时期的医护人员穿的防护服一样。在进入厂区时，他们都已经冲洗并烘干了惟一裸露在外的双手。

中芯国际顾问郑敏政说：“有的保健品生产厂在北京看癫痫很好的医院十万级洁净度的空间生产，也就是一立方英尺内有十万粒灰尘，我们的厂区洁净度是十级，要比治疗癫痫病需要多少钱他们干净一万倍。”

纳米级别的微雕

记者站在1万级洁净的外围走廊里观看几千平方米厂区内的生产流程。在厂区中间的房顶，一台台方头方脑的运输机正沿着轮轨把芯片盒运到它们该到的操作部门。在晶圆上，首先要做器件层，即安装二极管和三极管，可以理解为装“灯泡”和“开关”。然后，再在器件层上做金属层，可以理解为“布电线”，目前一般是6-9层。只不过，晶圆上的电灯、开关和电线，是用各种离子做成的。晶圆先被放到扩散区，在900度到1100度的高温下，在表面长成一层氧化膜，之后送到曝光区，并涂上一层光刻胶。然后，晶圆被运到刻蚀区，氧化膜被分解掉的地方，被刻蚀出一条条一定深度的凹槽。在这些可能只有90纳米宽的凹槽里注入离子，很后再把晶圆打磨平整。

上面描述的这个流程需要反复进行。每完成一个步骤，晶圆都需要用超纯水“洗个澡”。晶圆在生产中会使用到300多种气体。大约在工厂里呆两个月左右的时间，很后晶圆就可以成功出厂了。他们看上去仍然是老样子，仍然是装在芯片盒里的一个个圆形的薄片。不过，等运到封装测试的地方之后，这些晶圆会被切割封装，变成真正的芯片。